Влияние дефектообразования поверхности монокристаллического кремния на продукты электрохимического андронирования

Во время электролитического анодирования поверхности монокристаллического кремния в электролитах со значительным содержанием фторида водорода (HF) образуется слой с высокой пористость [пористый кремний (ПК)], который состоит из фазы продуктов электролитического анодирования, окутывающей микрокристаллическую матрицу модифицированного монокристаллического кремния .

По своей природе указанная фаза имеет сложный химический состав, основой которого является аморфный кремний . Исследование состава такого слоя в литературе освещалось не достаточно. Вследствие этого представление о влиянии дефектоутворення поверхности монокристаллического кремния на продукты электрохимического анодирования были ограниченными. Однако структура поверхности пористого аморфного слоя определяет электрические свойства, а также существенно влияет на процессы роста эпитаксиальных слоев и формирование металлических контактов. Все это связано с механизмом образования и трансформации микродефектов.

В настоящее время существуют несколько моделей, объясняющих процессы выявления свойств роста и трансформации микродефектов . Авторы работ считают, что гетерогенными центрами зарождения дефектов есть примеси углерода и кислорода на которых образуются первичные углеродно-мижвузловинни и кислородно-вакансийни агломераты . Поэтому при определении фазового и количественного состава компонентов на поверхности ПК необходимо сосредоточить внимание на указанных добавках.

Целью работы было исследование влияния структурных свойств поверхности монокристаллического кремния при травлении на продукты электролитического анодирования.

Методика исследований. В работе исследовали пластины монокристаллического кремния с ориентацией (100) р-типа толщиной 300 мкм. Концентрация легирующей примеси бора составляла 1.1016 см-3. Анодное травление проводили при плотности тока 30 мА/см2. Освещение осуществляли с помощью лампы накаливания в электролите состава HF (42%): Н2О: НСl = 1: 4: 0,5. Продолжительность травления составляет 30 минут. Оценку пористости

* Работа выполнена под научным руководством профессора, к.т.н. Швеца Е.Я.

образца осуществляли гравиметрическим методом, ее значение достигает для первой группы образцов - 84 и 75%, для второй группы - 72 и 68% соответственно.

Для контролируемого удаления аморфной пленки, образовавшейся на поверхности монокристаллического кремния после электролитического анодирования: первую группу образцов обрабатывали по переменно в растворах следующего состава НСl: Н2О = 1: 1, NH3OH: Н2О2 (40%): Н2О = 1: 1: 3; вторую группу образцов - в 1% растворе КОН при температуре 70 º С.

Исследование морфологии поверхности полученных модифицированных слоев монокристаллического кремния проводили на растровом электронном микроскопе типа РЭС-106Н с системой рентгеновского микроанализа по энергетической дисперсией. Ускорительная напряжение составляет 20 кВ, ток электронного зонда - 45 ... 90 мкА. Работу проводили по режиму вторичных электронов при увеличении от × 40 до × 2000 на рабочем отрезке 10,9 ... 11,8 мм. Качественный состав образованного пористого слоя определяли с помощью спектрального анализа по энергетической дисперсией.


Другие статьи по теме:

- Немалые залежи железных руд есть в России
- Металлургический комплекс
- Время создания металлургического факультета в Киевском политехническом институте приходится на суровые годы Великой Отечественной войны
- Развитие изготовления оцинкованной стали.
- Измерение избыточного давления в металлургических процессах

Добавить комментарий:
Введите ваше имя:

Комментарий:

Защита от спама - введите символы с картинки (регистр имеет значение):

В феврале украинские предприятия сократили производство чугуна на 12,1%, стали - на 12,6%, проката - на 13,7%
Уже в ближайшее время для экспортеров металлургической и химической продукции может появиться новый налог.
Украинские металлургические предприятия в январе-феврале 2012 года сократили производство стали и проката на 5% по сравнению с аналогичным периодом 2011 года.