Продолжение. Анализ параметров зоны плавки с помощью приборов с электронной разверткой изображения

Заметим, что именно такими условиями характеризуется задача анализа распределения температуры по ЗП при проведении последовательных циклов.

За известную температуру можно выбрать, например, температуру плавления кремния - 1685 К. В этом случае согласно разработанным нами методом определяется сигнал, образованный первого участка жидкой фазы, которая возникает на поверхности кристалла.

Мали (единицы пиксел) размеры участка исключают влияние кривизны поверхности на ее излучательной способности, т.е. в момент образования участок жидкой фазы можно считать плоской. Локализация участки на поверхности зоны нагрева и определения величины сигнала производятся в автоматическом режиме.

Выполнен анализ проблем применения сплайн-функций при исследованиях температурного поля на поверхности СП кремния. Обосновано, что применение сплайн-функций возможно только для случая твердой фазы, когда яркость собственного излучения определяется диффузным характером поверхности. Показано, что шаг сетки значений отсчетов, при котором погрешность не превысит заданной величины | Se3, 3 (x, y) - A (x, y) | определяется формулой

(10)

где Se3, 3 (x, y) - сплайн, аппроксимирующей функцию A (x, y),

- Максимальное значение второй производной функции A (x, y).

Получена также формула для определения шага выборки на поверхности образца цилиндрической формы

(11)

где R - радиус образца; i = 0,1,2, .., n;

Обосновано общий алгоритм метода комплексного исследования параметров СП, структура которого изображена на рис.5.

Первое звено алгоритма предусматривает установление границ выборки или задания траектории анализа. Согласно особенностей процесса устанавливается количество выборок в каждой точке с последующим вычислением среднего значения.

Алгоритм включает подпрограммы "Твердая фаза", "Жидкая фаза", "Фазовый переход".

Реализация подпрограммы "Твердая фаза" предусматривает:

установления величины шага h с учетом требований по точности и максимальной величины второй производной в пределах поля выборки;

компенсации влияния загрязнения иллюминатора и излучения электрода;

определения распределения температуры при e = 0.64.

Одновременно с подпрограммой "Твердая фаза" реализуется подпрограмма "Фазовый переход", которая предусматривает анализ сложившейся выборки на изменения яркости, обусловленные фазовым переходом. Если где Ai - некоторая предварительно определено экспериментально значение сигнала, то применяется подпрограмма "Жидкая фаза".

Реализация подпрограммы "Жидкая фаза" предусматривает:

локализацию зародыше жидкой фазы и определения константы B;

амплитудную фильтрацию сигналов, образованных отражением электрода;

определения распределения температуры по зоне при e = 0.46;

определения высоты зоны минимального диаметра зоны, фактора формы, слежения за перемещением зоны;

анализ фактора формы и высоты на аномалии развития (если xиxmax или hиhmax, формируется сигнал "аномалия").


Другие статьи по теме:

- Коррозионная устойчивость золотых сплавов
- Основные параметры и конструкция вращающихся печей
- Недавно по инициативе профсоюза металлургов и горняков Украины в Киеве состоялось заседание двух парламентских комитетов
- Античные государства Северного Причерноморья
- Загрязнение окружающей среды промышленностью

Добавить комментарий:
Введите ваше имя:

Комментарий:

Защита от спама - введите символы с картинки (регистр имеет значение):

В феврале украинские предприятия сократили производство чугуна на 12,1%, стали - на 12,6%, проката - на 13,7%
Уже в ближайшее время для экспортеров металлургической и химической продукции может появиться новый налог.
Украинские металлургические предприятия в январе-феврале 2012 года сократили производство стали и проката на 5% по сравнению с аналогичным периодом 2011 года.